[发明专利]一种真空沉积设备的炉门进气系统

摘要

本发明提供了一种真空沉积设备的炉门进气系统，包括炉门底板、外炉门和内炉门，内炉门的前端下部设置有桨，内炉门上贯穿设置有若干第一进气口，内炉门的前端面设置有若干第一气体导流罩，每个第一气体导流罩扣在内炉门的前端面上并通过螺丝与内炉门固定连接，第一气体导流罩与内炉门之间形成集气腔体，第一气体导流罩上设置有与集气腔体连通的第二进气口和第一出气口，第一进气口的内端部与第二进气口通过导气管连接，第一出气口的出气方向与炉尾方向存在夹角。本发明提供的真空沉积设备的炉门进气系统，改善进气方式，提高工艺腔体内的气体均匀性，在桨上设置进气口，在工艺腔体的中部进行补气，从而保证炉尾处有充足的工艺气体。