[发明专利]镀膜系统的控制方法和镀膜系统在审
| 申请号： | 202110354674.1 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN115142052A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 殷文杰;康剑锋;殷科平;金俊强;吴晓龙;郑博;史鹏程 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明适用于太阳能电池技术领域，提供了一种镀膜系统的控制方法和镀膜系统。镀膜系统包括机台和扫描器，机台用于为石墨舟承载的硅片镀膜，控制方法包括：控制扫描器扫描石墨舟的标识部件，以得到石墨舟的标识信息；根据标识信息查询与标识信息相对应的历史信息；根据历史信息确定机台的控制信息；控制机台根据控制信息运行。如此，通过扫描石墨舟的标识部件来得到石墨舟的标识信息从而得到对应的历史信息，且控制信息基于石墨舟的历史信息自动确定，使得对石墨舟的识别和对机台的控制均无需人工参与，有利于高效准确地识别石墨舟并控制机台运行。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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