[发明专利]镀膜系统的控制方法和镀膜系统

权利要求书

1.一种镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述镀膜系统包括机台和扫描器，所述机台用于为石墨舟承载的硅片镀膜，所述控制方法包括：

控制所述扫描器扫描所述石墨舟的标识部件，以得到所述石墨舟的标识信息；

根据所述标识信息查询与所述标识信息相对应的历史信息；

根据所述历史信息确定所述机台的控制信息；

控制所述机台根据所述控制信息运行。

2.根据权利要求1所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述历史信息包括历史使用次数，所述控制方法包括：

判断所述历史使用次数是否大于预设次数；

在所述历史使用次数小于或等于所述预设次数的情况下，进入所述根据所述历史信息确定所述机台的控制信息的步骤；

在所述历史使用次数大于所述预设次数的情况下，提示报警信息。

3.根据权利要求1所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

确定所述石墨舟与所述机台是否匹配；

在所述石墨舟与所述机台匹配的情况下，进入所述根据所述历史信息确定所述机台的控制信息的步骤；

在所述石墨舟与所述机台不匹配的情况下，提示报警信息。

4.根据权利要求1所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述历史信息包括尺寸数据，所述控制信息包括调整数据，根据所述历史信息确定所述机台的控制信息，包括：

根据所述尺寸数据确定所述机台的调整数据；

控制所述机台根据所述控制信息运行，包括：

控制所述机台根据所述调整数据进行调整，以与所述石墨舟的尺寸适配。

5.根据权利要求1所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述镀膜系统包括与所述机台通信的服务器，控制所述扫描器扫描所述石墨舟的标识部件以得到所述石墨舟的标识信息，包括：

所述机台控制所述扫描器扫描所述石墨舟的标识部件以得到所述石墨舟的标识信息，并将所述标识信息发送给所述服务器；

根据所述标识信息查询与所述标识信息相对应的历史信息，包括：

所述服务器根据所述标识信息查询与所述标识信息相对应的历史信息；

所述控制方法包括：

所述机台将所述石墨舟的更新数据发送给所述服务器；

所述服务器根据所述更新数据更新所述历史信息。

6.根据权利要求5所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

所述服务器将更新前的所述历史信息发送给所述机台；

所述机台处理更新前的所述历史信息以确定所述更新数据。

7.根据权利要求6所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

所述机台确定所述历史信息与所述标识信息是否对应；

在所述历史信息与所述标识信息对应的情况下，进入所述机台处理更新前的所述历史信息以确定所述更新数据的步骤；

在所述历史信息与所述标识信息不对应的情况下，所述机台提示报警信息。

8.根据权利要求1所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

控制所述扫描器的镜头由第一位置移动预设距离，以移动至第二位置；其中，所述镜头位于所述第一位置时，所述扫描器对所述标识部件对焦；

在所述镜头位于所述第二位置时，控制所述扫描器扫描所述标识部件。

9.根据权利要求8所述的镀膜系统的控制方法，其特征在于，所述预设距离的数值范围为：大于或等于-5mm且小于或等于-2mm，和，大于或等于2mm且小于或等于5mm。

10.一种镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统包括机台、扫描器和处理器，所述机台用于为石墨舟承载的硅片镀膜，所述处理器连接所述机台和所述扫描器，所述处理器用于执行如权利要求1至9中任一项所述的控制方法。