[发明专利]镀膜系统的控制方法和镀膜系统在审
申请号: | 202110354674.1 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN115142052A | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 殷文杰;康剑锋;殷科平;金俊强;吴晓龙;郑博;史鹏程 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52 |
代理公司: | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人: | 贾振勇 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 系统 控制 方法 | ||
本发明适用于太阳能电池技术领域,提供了一种镀膜系统的控制方法和镀膜系统。镀膜系统包括机台和扫描器,机台用于为石墨舟承载的硅片镀膜,控制方法包括:控制扫描器扫描石墨舟的标识部件,以得到石墨舟的标识信息;根据标识信息查询与标识信息相对应的历史信息;根据历史信息确定机台的控制信息;控制机台根据控制信息运行。如此,通过扫描石墨舟的标识部件来得到石墨舟的标识信息从而得到对应的历史信息,且控制信息基于石墨舟的历史信息自动确定,使得对石墨舟的识别和对机台的控制均无需人工参与,有利于高效准确地识别石墨舟并控制机台运行。
技术领域
本发明属于太阳能电池技术领域,尤其涉及一种镀膜系统的控制方法和镀膜系统。
背景技术
在光伏行业中,通常通过化学气相淀积(Chemical Vapour Deposition,CVD)设备为硅片镀上减反射膜,而CVD设备通过石墨舟来装载硅片。
随着光伏行业的不断发展,需要更加系统化地管理生产中的各种信息。通常,为每个石墨舟设置一个编号,并在石墨舟被施加工艺前,在工控机上人工输入该石墨舟的编号,以记录每个石墨舟或石墨舟所承载的硅片被施加过的工艺,从而便于追溯产品。并且,可基于石墨舟的编号识别石墨舟,以对机台进行手动控制。然而,人工介入效率较低且容易出错。
基于此,如何高效准确地识别石墨舟并控制机台运行,成为了亟待解决的技术问题。
发明内容
本申请提供一种镀膜系统的控制方法和镀膜系统,旨在解决如何高效准确地识别石墨舟并控制机台运行的问题。
第一方面,本申请提供一种镀膜系统的控制方法。所述镀膜系统包括机台和扫描器,所述机台用于为石墨舟承载的硅片镀膜,所述控制方法包括:
控制所述扫描器扫描所述石墨舟的标识部件,以得到所述石墨舟的标识信息;
根据所述标识信息查询与所述标识信息相对应的历史信息;
根据所述历史信息确定所述机台的控制信息;
控制所述机台根据所述控制信息运行。
可选地,所述历史信息包括历史使用次数,所述控制方法包括:
判断所述历史使用次数是否大于预设次数;
在所述历史使用次数小于或等于所述预设次数的情况下,进入所述根据所述历史信息确定所述机台的控制信息的步骤;
在所述历史使用次数大于所述预设次数的情况下,提示报警信息。
可选地,所述控制方法包括:
确定所述石墨舟与所述机台是否匹配;
在所述石墨舟与所述机台匹配的情况下,进入所述根据所述历史信息确定所述机台的控制信息的步骤;
在所述石墨舟与所述机台不匹配的情况下,提示报警信息。
可选地,所述历史信息包括尺寸数据,所述控制信息包括调整数据,根据所述历史信息确定所述机台的控制信息,包括:
根据所述尺寸数据确定所述机台的调整数据;
控制所述机台根据所述控制信息运行,包括:
控制所述机台根据所述调整数据进行调整,以与所述石墨舟的尺寸适配。
可选地,所述镀膜系统包括与所述机台通信的服务器,控制所述扫描器扫描所述石墨舟的标识部件,以得到所述石墨舟的标识信息,包括:
所述机台控制所述扫描器扫描所述石墨舟的标识部件,以得到所述石墨舟的标识信息,并将所述标识信息发送给所述服务器;
根据所述标识信息查询所述石墨舟的历史信息,包括:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的