[发明专利]一种气体传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110354503.9 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN112946037A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 赵珉;刘桂英;刘如军 | 申请（专利权）人： | 岭南师范学院 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘瑶云;陈伟斌 |
| 地址： | 524048 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，提供一种气体传感器及其制作方法。此气体传感器，包括基板、石墨烯层、金属电极对、金属氧化物层；基板、石墨烯层和金属电极对由下至上依次设置；一个金属电极对包括两个金属电极，一个金属电极对的两个金属电极之间的区域为沟道；在沟道处的石墨烯层设有间隙槽，使位于沟道处的石墨烯层断开，形成石墨烯电极对；金属氧化物层位于沟道处，且覆盖在石墨烯电极对以及间隙槽上，以连接石墨烯电极对；金属氧化物层的面积小于沟道的面积，以使沟道内具有未被金属氧化物层覆盖而裸露的石墨烯层。本发明提供一种响应强度高、响应的特异选择性好的气体传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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