[发明专利]一种碳碳化硅复合粉末及其制备方法和用途有效
| 申请号： | 202110349418.3 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113024255B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨慧珍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/52 | 分类号： | C04B35/52;C04B35/565;C04B35/622;C04B35/626 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳碳化硅复合粉末及其制备方法和用途，所述制备方法包括如下步骤：(1)按照目标质量比例准备碳粉和碳化硅粉并混合均匀，得到碳碳化硅混合粉；(2)将步骤(1)所述碳碳化硅混合粉与粘结剂、分散剂以及水混合均匀，得到碳碳化硅料浆；(3)将步骤(2)所述碳碳化硅料浆进行喷雾造粒，得到碳碳化硅复合粉末。采用本发明所述制备方法得到的碳碳化硅复合粉末具有粒度均匀、流动性良好、成形性优异等优点，可以用于制备碳碳化硅靶材，并有效保证了碳碳化硅靶材的致密度，以及靶材表面的光滑均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 复合 粉末 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
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