[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法

摘要

本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，使基片上的溶液中的溶剂在短时间干燥。在减压状态下使基片上的溶液干燥的该减压干燥装置包括：载置基片的载置台；溶剂收集部件，具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于载置台的基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的溶液中的溶剂；处理容器，其可减压且在内部设置上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从厚度方向观察围绕载置台的侧壁；和围绕部件，其从厚度方向观察时以能够将处理容器内的侧壁与溶剂收集部件之间封闭的方式围绕溶剂收集部件，并与溶剂收集部件设置于同一平面上，围绕部件使处理容器内的气体通过从厚度方向观察比溶剂收集部件靠外侧的部分时的压力损失增加。