[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法

说明书

本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，使基片上的溶液中的溶剂在短时间干燥。在减压状态下使基片上的溶液干燥的该减压干燥装置包括：载置基片的载置台；溶剂收集部件，具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于载置台的基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的溶液中的溶剂；处理容器，其可减压且在内部设置上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从厚度方向观察围绕载置台的侧壁；和围绕部件，其从厚度方向观察时以能够将处理容器内的侧壁与溶剂收集部件之间封闭的方式围绕溶剂收集部件，并与溶剂收集部件设置于同一平面上，围绕部件使处理容器内的气体通过从厚度方向观察比溶剂收集部件靠外侧的部分时的压力损失增加。

技术领域

本发明涉及减压干燥装置和减压干燥方法。

背景技术

在专利文献1中，公开了一种将涂敷于基片的表面的有机材料膜中的溶剂除去以使其干燥的干燥装置，其包括：可抽真空的处理容器；将处理容器内的气体排气的排气口；在处理容器内支承基片的支承部件；收集从有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部。溶剂收集部具有一个或者多个金属板，该金属板具有与被支承部件支承的基片相对地设置的多个贯通开口。此外，专利文献1中公开的干燥装置作为促进溶剂的收集的收集促进装置，具有对金属板进行冷却的冷却装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-199806号公報

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明的技术使基片上的溶液中的溶剂在短时间内干燥。

用于解决技术问题的技术手段

本发明的一方式是在减压状态下使基片上的溶液干燥的减压干燥装置，其包括：载置上述基片的载置台；溶剂收集部件，其具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于上述载置台上的上述基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的上述溶液中的溶剂；处理容器，其能够减压且在内部设置有上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从上述厚度方向观察围绕上述载置台的侧壁；和围绕部件，其从上述厚度方向观察时以能够将上述处理容器内的上述侧壁与上述溶剂收集部件之间封闭的方式围绕上述溶剂收集部件，并且与上述溶剂收集部件设置于同一平面上，上述围绕部件使上述处理容器内的气体在通过从上述厚度方向观察比上述溶剂收集部件更靠外侧的部分时的压力损失增加。

发明效果

依照本发明，能够使基片上的溶液中的溶剂在短时间内干燥。

附图说明

图1是表示本实施方式的减压干燥装置的概要结构的截面图。

图2是概要地表示本实施方式的减压干燥装置内的上表面图。

图3是溶剂收集部件的局部放大平面图。

图4是概要地表示减压干燥装置内的一部分的示意图。

图5是概要地表示溶剂收集部件的周围的部分的下表面图。

图6是用于说明腔室内的气体的流动的示意图。

图7是用于说明腔室内的气体的流动的示意图。

图8是用于说明围绕部件的另一例的示意图。

图9是用于说明使用图8的围绕部件时的腔室内的气体的流动的示意图。

图10是用于说明围绕部件的又一例的示意图。

图11是用于说明使用图10的围绕部件时的腔室内的气体的流动的示意图。

具体实施方式