[发明专利]一种用于模组测试的自动探针台在审
| 申请号： | 202110340865.2 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN112992712A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张哲远 | 申请（专利权）人： | 上海帆测科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海大为知卫知识产权代理事务所(普通合伙) 31390 | 代理人： | 何银南 |
| 地址： | 200000 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于模组测试的自动探针台，属于晶圆测试领域，该自动探针台包括支撑体、固定设置在支撑体上的控制单元以及受控制单元控制在支撑体上平移的送料机构和探针检测装置，探针检测装置的移动方向与送料机构的移动方向垂直；送料机构包括在支撑体上平移的检测台、固定设置在检测台上的定位夹具以及用于驱动检测台在支撑体上平移的第一平移机构；探针检测装置包括用于与模组接触的探针、用于图像采集的摄像头、用于驱动探针和摄像头在支撑体上平移的第二平移机构以及用于驱动探针和摄像头在第二平移机构上纵向移动的第三平移机构。该自动探针台可自动化完成通讯模组的检测工作，效率高，适于通讯模组的批量化生产，降低检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 模组 测试 自动 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海帆测科技发展有限公司，未经上海帆测科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110340865.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
