[发明专利]一种用于模组测试的自动探针台

权利要求书

1.一种用于模组测试的自动探针台，其特征在于，包括支撑体(1)、固定设置在所述支撑体(1)上的控制单元(4)以及受所述控制单元(4)控制在所述支撑体(1)上平移的送料机构(2)和探针检测装置(3)，所述探针检测装置(3)的移动方向与所述送料机构(2)的移动方向垂直；

所述送料机构(2)包括在所述支撑体(1)上平移的检测台(21)、固定设置在所述检测台(21)上的定位夹具(22)以及用于驱动所述检测台(21)在所述支撑体(1)上平移的第一平移机构(23)；

所述探针检测装置(3)包括用于与模组接触的探针(31)、用于图像采集的摄像头(32)、用于驱动所述探针(31)和所述摄像头(32)在所述支撑体(1)上平移的第二平移机构(33)以及用于驱动所述探针(31)和所述摄像头(32)在所述第二平移机构(33)上纵向移动的第三平移机构(34)。

2.如权利要求1所述的用于模组测试的自动探针台，其特征在于，所述探针检测装置(3)至少设置有一个。

3.如权利要求1所述的用于模组测试的自动探针台，其特征在于，所述第一平移机构(23)包括固定设置在所述支撑体(1)内部的第一移动架(231)、滑动安装在所述第一移动架(231)上的第一滑块(232)、转动安装在所述第一移动架(231)上用于驱动所述第一滑块(232)在所述第一移动架(231)上移动的移动轴(233)以及固定安装在所述第一移动架(231)的一端用于带动所述移动轴(233)旋转的第一伺服电机(234)，所述检测台(21)固定设置在所述第一滑块(232)上。

4.如权利要求3所述的用于模组测试的自动探针台，其特征在于，所述第二平移机构(33)包括固定设置在所述支撑体(1)内部的第二移动架(331)、滑动安装在所述第二移动架(331)上的第二滑块(332)、转动安装在所述第二移动架(331)上用于驱动所述第二滑块(332)在所述第二移动架(331)上移动的第二移动轴(333)以及固定安装在所述第二移动架(331)的一端用于驱动所述第二移动轴(333)旋转的第二伺服电机(334)，所述第二移动架(331)垂直于所述第一移动架(231)，所述第二伺服电机(334)固定安装在所述第二移动架(331)远离所述第一移动架(231)的一端。

5.如权利要求4所述的用于模组测试的自动探针台，其特征在于，所述第三平移机构(34)包括固定安装在第二滑块(332)上的第三移动架(341)、滑动安装在所述第三移动架(341)上的第三滑块(342)、转动安装在所述第三移动架(341)上用于驱动所述第三滑块(342)在所述第三移动架(341)上移动的第三移动轴(343)以及固定安装在所述第三移动架(341)远离所述第二移动架(331)的一端用于驱动所述第三移动轴(343)旋转的第三伺服电机(344)，所述探针(31)和所述摄像头(32)安装在所述第三滑块(342)上。

6.如权利要求5所述的用于模组测试的自动探针台，其特征在于，所述第一移动轴(233)、第二移动轴(333)和所述第三移动轴(343)均为丝杠，所述第一移动轴(233)、第二移动轴(333)和所述第三移动轴(343)分别贯穿于所述第一滑块(232)、第二滑块(332)和所述第三滑块(342)，且与分别与所述第一滑块(232)、第二滑块(332)和所述第三滑块(342)螺纹连接。

7.如权利要求5所述的用于模组测试的自动探针台，其特征在于，所述摄像头(32)至少设置有一个。

8.如权利要求7所述的用于模组测试的自动探针台，其特征在于，所述探针(31)和所述摄像头(32)与所述第三滑块(342)之间分别设置有第一固定架(35)和第二固定架(36)，所述探针(31)和所述摄像头(32)分别设置在所述第一固定架(35)和所述第二固定架(36)远离所述第三滑块(342)的一端。