[发明专利]一种用于模组测试的自动探针台

说明书

本发明提供了一种用于模组测试的自动探针台，属于晶圆测试领域，该自动探针台包括支撑体、固定设置在支撑体上的控制单元以及受控制单元控制在支撑体上平移的送料机构和探针检测装置，探针检测装置的移动方向与送料机构的移动方向垂直；送料机构包括在支撑体上平移的检测台、固定设置在检测台上的定位夹具以及用于驱动检测台在支撑体上平移的第一平移机构；探针检测装置包括用于与模组接触的探针、用于图像采集的摄像头、用于驱动探针和摄像头在支撑体上平移的第二平移机构以及用于驱动探针和摄像头在第二平移机构上纵向移动的第三平移机构。该自动探针台可自动化完成通讯模组的检测工作，效率高，适于通讯模组的批量化生产，降低检测成本。

技术领域

本发明属于晶圆测试技术领域，尤其涉及一种用于模组测试的自动探针台。

背景技术

光通信模组组装完成之后，需要对模组内的功能模块化测试，以提前鉴别出不合格的模组，防止对不合格模组封盖，提高生产效率。但目前市场上未有一款自动检测模组测试装置，在传统检测中，使用手工测试台进行模组检测，检测效率低、人工成本高，很难满足光通信模组的大批量生产。

发明内容

本发明实施例提供一种用于模组测试的自动探针台，旨在解决背景技术中提出的问题。

本发明实施例是这样实现的，一种用于模组测试的自动探针台，该自动探针台包括支撑体、固定设置在所述支撑体上的控制单元以及受所述控制单元控制在所述支撑体上平移的送料机构和探针检测装置，所述探针检测装置的移动方向与所述送料机构的移动方向垂直；

所述送料机构包括在所述支撑体上平移的检测台、固定设置在所述检测台上的定位夹具以及用于驱动所述检测台在所述支撑体上平移的第一平移机构；

所述探针检测装置包括用于与模组接触的探针、用于图像采集的摄像头、用于驱动所述探针和所述摄像头在所述支撑体上平移的第二平移机构以及用于驱动所述探针和所述摄像头在所述第二平移机构上纵向移动的第三平移机构。

优选的，所述探针检测装置至少设置有一个。

优选的，所述第一平移机构包括固定设置在所述支撑体内部的第一移动架、滑动安装在所述第一移动架上的第一滑块、转动安装在所述第一移动架上用于驱动所述第一滑块在所述第一移动架上移动的移动轴以及固定安装在所述第一移动架的一端用于带动所述移动轴旋转的第一伺服电机，所述检测台固定设置在所述第一滑块上。

优选的，所述第二平移机构包括固定设置在所述支撑体内部的第二移动架、滑动安装在所述第二移动架上的第二滑块、转动安装在所述第二移动架上用于驱动所述第二滑块在所述第二移动架上移动的第二移动轴以及固定安装在所述第二移动架的一端用于驱动所述第二移动轴旋转的第二伺服电机，所述第二移动架垂直于所述第一移动架，所述第二伺服电机固定安装在所述第二移动架远离所述第一移动架的一端。

优选的，所述第三平移机构包括固定安装在第二滑块上的第三移动架、滑动安装在所述第三移动架上的第三滑块、转动安装在所述第三移动架上用于驱动所述第三滑块在所述第三移动架上移动的第三移动轴以及固定安装在所述第三移动架远离所述第二移动架的一端用于驱动所述第三移动轴旋转的第三伺服电机，所述探针和所述摄像头安装在所述第三滑块上。

优选的，所述第一移动轴、第二移动轴和所述第三移动轴均为丝杠，所述第一移动轴、第二移动轴和所述第三移动轴分别贯穿于所述第一滑块、第二滑块和所述第三滑块，且与分别与所述第一滑块、第二滑块和所述第三滑块螺纹连接。

优选的，所述摄像头至少设置有一个。

优选的，所述探针和所述摄像头与所述第三滑块之间分别设置有第一固定架和第二固定架，所述探针和所述摄像头分别设置在所述第一固定架和所述第二固定架远离所述第三滑块的一端。

优选的，所述第二固定架上设置有用于将所述摄像头锁紧在所述第二固定架上的锁紧机构。