[发明专利]显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 202110337807.4 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113463028A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 薛在完;姜贤圭;徐东均;韩尚辰;韩种馩 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 姜长星;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。本发明包括：传感器部，包括测量从沉积源喷射的沉积物质的沉积厚度的多个传感器；第一加热器部，布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器；以及第二加热器部，布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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