[发明专利]显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法

说明书

本发明公开了一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。本发明包括：传感器部，包括测量从沉积源喷射的沉积物质的沉积厚度的多个传感器；第一加热器部，布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器；以及第二加热器部，布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器。

技术领域

本发明的实施例涉及一种装置以及方法，更加详细地涉及一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。

背景技术

基于移动性的电子设备正在被广泛地使用。作为移动用电子设备，除了诸如移动电话的小型电子设备以外，最近平板电脑正在被广泛地使用。

这样的移动型电子设备为了支持多种功能以及为了向用户提供诸如图像以及影像的视觉信息而包括显示装置。最近，随着用于驱动显示装置的其他部件小型化，显示装置在电子设备中所占据的比重呈现逐渐增加的趋势，并且也正在开发可从平整的状态弯曲为具有预定的角度的结构。

为了制造这样的显示装置，可以将有机物以图案形态沉积在基板上。此时，可根据多么精密地沉积这样的图案而决定显示装置的清晰度等。尤其，为了以精密的图案将有机物沉积在基板上，准确地测量有机物的沉积率是重要的。

发明内容

通常，在将有机物的图案沉积于基板上的装置中，可通过测量这样的有机物的沉积率，来判别有机物的沉积的准确性以及装置是否出现故障等。本发明的实施例提供一种在有机物的沉积工艺中准确地测量有机物的沉积率的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。

本发明的一实施例公开了一种显示装置的制造装置，包括：传感器部，包括测量从沉积源喷射的沉积物质的沉积厚度的多个传感器；第一加热器部，布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器；以及第二加热器部，布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器。

在本实施例中，所述第一加热器部可以布置为所述第一加热器部的一面与所述第一传感器的一面平行。

在本实施例中，所述第二加热器部可以布置为所述第二加热器部的一面对所述第二传感器的一面具有锐角。

在本实施例中，所述第一加热器部的加热温度和所述第二加热器部的加热温度可以彼此不同。

在本实施例中，所述第一加热器部的加热温度可以比所述第二加热器部的加热温度高。

在本实施例中，还可以包括：第三加热器部，布置于在所述第一区域和所述第二区域之间布置的第三区域，加热所述多个传感器中的布置于所述第三区域的第三传感器。

在本实施例中，所述第一加热器部的加热温度、所述第二加热器部的加热温度以及所述第三加热器部的加热温度可以彼此不同。

在本实施例中，所述第一加热器部的加热温度可以比所述第二加热器部的加热温度高。

在本实施例中，所述第二加热器部的加热温度可以比所述第三加热器部的加热温度高。

在本实施例中，所述第二加热器部可以包括能够独立地调节温度的多个温度调节区域。

在本实施例中，所述多个传感器可以旋转而使各个所述传感器的位置改变。

在本实施例中，还可以包括：传感器支撑台，结合有所述多个传感器；以及旋转驱动部，旋转所述传感器支撑台。

在本实施例中，还可以包括：阻断部，结合于所述传感器支撑台，并布置于所述各个传感器之间。