[发明专利]显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 202110337807.4 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113463028A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 薛在完;姜贤圭;徐东均;韩尚辰;韩种馩 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 姜长星;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示装置 制造 装置 以及 方法 | ||
1.一种显示装置的制造装置，包括：
传感器部，包括测量从沉积源喷射的沉积物质的沉积厚度的多个传感器；
第一加热器部，布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器；以及
第二加热器部，布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器。
2.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第一加热器部布置为所述第一加热器部的一面与所述第一传感器的一面平行。
3.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第二加热器部布置为所述第二加热器部的一面对所述第二传感器的一面具有锐角。
4.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第一加热器部的加热温度和所述第二加热器部的加热温度彼此不同。
5.如权利要求4所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第一加热器部的加热温度比所述第二加热器部的加热温度高。
6.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，还包括：
第三加热器部，布置于在所述第一区域与所述第二区域之间布置的第三区域，加热所述多个传感器中的布置于所述第三区域的第三传感器。
7.如权利要求6所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第一加热器部的加热温度、所述第二加热器部的加热温度以及所述第三加热器部的加热温度彼此不同。
8.如权利要求7所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第一加热器部的加热温度比所述第二加热器部的加热温度高。
9.如权利要求8所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第二加热器部的加热温度比所述第三加热器部的加热温度高。
10.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第二加热器部包括能够独立地调节温度的多个温度调节区域。
11.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述多个传感器旋转而使各个所述传感器的位置改变。
12.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，还包括：
传感器支撑台，结合有所述多个传感器；以及
旋转驱动部，旋转所述传感器支撑台。
13.如权利要求12所述的显示装置的制造装置，还包括：
阻断部，结合于所述传感器支撑台，并布置于所述各个传感器之间。
14.一种显示装置的制造装置，包括：
第一加热器部，布置于第一区域；
第二加热器部，布置于与所述第一区域不同的第二区域；
第一传感器，布置为与所述第一加热器部以及所述第二加热器部中的一个加热器部对向；
第二传感器，布置为与所述第一加热器部以及所述第二加热器部中的另一个加热器部对向；
传感器支撑台，与所述第一传感器以及所述第二传感器连接；
旋转驱动部，与所述传感器支撑台连接，改变所述第一传感器和所述第二传感器的位置；以及
沉积源，提供沉积物质，
其中，所述第一传感器以及所述第二传感器根据位置而测量从所述沉积源提供的所述沉积物质的厚度。
15.如权利要求14所述的显示装置的制造装置，其中，
所述第一加热器部和所述第二加热器部加热所述第一传感器以及所述第二传感器，使得所述第一传感器的温度和所述第二传感器的温度彼此不同。
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