[发明专利]一种用于物体表面检测的微探针系统

摘要

本发明公开了一种用于物体表面检测的微探针系统，包括顺序呈直线放置的双频激光模块、微探针集成模块和样品扫描台及与样品扫描台和双频激光模块连接的数据处理模块，双频激光模块输出正交偏振的双频激光，一部分光即参考光直接进入数据处理模块，另一部分光即检测光进入微探针集成模块，激光在微探针或样品表面反射后回到双频激光模块中，参考光与检测光合光后进入数据处理模块，数据处理模块处理数据，得到被测样品的表面形貌。这种微探针系统结构简单，并且能实现微纳米尺度的裂痕、划痕集成一体化检测，能降低测量所需的工作量、提高测量效率。