[发明专利]具有透气罩的传感器装置及所属的制造方法在审
| 申请号： | 202110294766.5 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113526450A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | R·M·沙勒;K·伊利安;H·托伊斯 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及具有透气罩的传感器装置及所属的制造方法。传感器装置包括具有MEMS结构的传感器芯片以及透气罩，其中MEMS结构布置在传感器芯片的主表面处，透气罩布置在传感器芯片的主表面上方，透气罩覆盖MEMS结构并在MEMS结构上方形成空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 透气 传感器 装置 所属 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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