[发明专利]一种相互补料的单晶炉及其使用方法有效
申请号: | 202110287844.9 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN112981528B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 杨斌 | 申请(专利权)人: | 大连欣和重工有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02;C30B15/30 |
代理公司: | 沈阳鼎恒知识产权代理事务所(普通合伙) 21245 | 代理人: | 段新颖 |
地址: | 116400 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开了一种相互补料的单晶炉及其使用方法,包括炉体,所述炉体内设有两个开口向上的存放腔,所述存放腔内设有用于熔融多晶硅的熔融组件,所述存放腔上侧设有用于夹紧固定子晶的夹紧组件,两个所述存放腔之间设有用于导流的熔融液体的转接组件,所述转接组件包括连通左右两侧所述存放腔的连通腔,在进行超规模单晶硅棒拉晶时,根据需要自动完成左右两侧石英埚内的熔融液体的互换,从而可以便于实现所需的长度拉晶,从而扩大生产范围,在二次添加熔融液体的时候,自动完成左右两侧的石英埚的升降,从而保证拉晶的石英埚的拉晶液体平面,从而保证拉晶的平稳进行。 | ||
搜索关键词: | 一种 相互 单晶炉 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
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