[发明专利]MEMS传感器驱动电路在审
| 申请号： | 202110273477.7 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113014217A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李国勇;陈华;孟真;阎跃鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03F3/45 | 分类号： | H03F3/45;H03F1/42 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 苑晨超 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS传感器驱动电路，包括：共栅极放大器；恒流源，与所述共栅极放大器的放大管的源极电连接，用于为所述共栅极放大器提供偏置电流；第一反相放大器，具有负反馈电阻，所述第一反相放大器的输入端与所述共栅极放大器的输出端电连接；输入端口，与所述共栅极放大器的放大管的源极电连接，用于接收MEMS传感器的电流信号。本发明提供的技术方案能够同时提高MEMS传感器驱动电路的带宽和增益。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 驱动 电路 | ||
【主权项】：
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