[发明专利]探针测量的控制方法、处理方法以及装置在审
| 申请号： | 202110265460.7 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN115078771A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 周向前;马欢;朗格诺;杜川 | 申请（专利权）人： | 百及纳米技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00;G01Q30/04;G01Q70/06 |
| 代理公司： | 上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343 | 代理人： | 李茂林;徐海晟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针测量的控制方法、处理方法以及装置，所述探针测量的控制方法包括，控制M个测量探针与N个预警探针扫描待测表面时，通过所述预警探针检测所述待测表面的障碍物，获取对应的障碍物检测信号，其中，沿扫描运动方向，所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布；N、M均为大于或等于1的整数；根据所述障碍物检测信号，控制所述测量探针跨越过所检测到的障碍物。其中的预警探针可以识别障碍物，当检测到障碍物时，对测量探针产生预警，使得测量探针在到达障碍物之前就进行高度调整，而不需要降低横向速度来避免撞上障碍物，进而提高测量速度；本发明能够实现高速、精确的表面扫描测量。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测量 控制 方法 处理 以及 装置 | ||
【主权项】：
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