[发明专利]复合型功率组件

摘要

本申请公开一种复合型功率组件，其包含基材结构、绝缘层、介电层、金氧半场效晶体管、及齐纳二极管。金氧半场效晶体管形成于基材结构的晶体管形成区域中。齐纳二极管形成于基材结构的电路组件形成区域中，且包含形成于基材结构中且被绝缘层覆盖的齐纳二极管掺杂结构。齐纳二极管掺杂结构包含第一P型掺杂区及形成于第一P型掺杂区内侧的第一N型掺杂区。齐纳二极管另包含齐纳二极管金属结构，其形成于介电层上，且依序地贯穿介电层及绝缘层，以电性连接第一P型掺杂区及第一N型掺杂区。借此，本申请的复合型功率组件能通过将不同的电子组件(如：齐纳二极管)的形成整合在金氧半场效晶体管的结构中，以简化了制程复杂度。