[发明专利]MEMS芯片保护盖的移除方法在审
| 申请号： | 202110259977.5 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113044804A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 原岩峰;李延昭 | 申请（专利权）人： | 苏试宜特（深圳）检测技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 宋小光 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区新安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS芯片保护盖的移除方法，芯片包括芯片主体和罩盖于芯片主体的顶部的保护盖，该移除方法包括如下步骤：提供固定板，将芯片主体的底部粘贴于固定板的顶面；提供连接板，将连接板粘贴于保护盖的顶部，且连接板垂直于固定板；压住固定板，并向上抬起连接板，以使得连接板带动保护盖向上运动，从而移除保护盖。本发明有效地解决了腐蚀液容易造成元件腐蚀或损伤的问题，既能够移除保护盖，又能够保护芯片主体，以方便后期对芯片的分析，降低了芯片因试验以外的原因失效的风险，提升分析结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 保护 方法 | ||
【主权项】：
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