[发明专利]一种用于半导体设备的尾气管装置在审
| 申请号： | 202110257867.5 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113048305A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王会会;林保璋;金補哲;高东铉 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F16L33/00 | 分类号： | F16L33/00;F16L25/14 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种用于半导体设备的尾气管装置，包括安装于半导体设备上的金属尾气管，金属尾气管的上端形成有管口，管口处安装有闷板组件，闷板组件包括卡箍和内嵌于卡箍内部的闷板本体，卡箍的下沿与管口外壁相抵触且上沿与闷板本体相抵触，卡箍与管口、闷板本体的连接处均套嵌有密封圈，闷板本体的中部开设有槽口，槽口内部安装有阻塞垫且开口处焊接有公头螺纹组件，公头螺纹组件上安装有氮气导入机构。本发明在常规闷板组件基础上设计有氮气导入机构，能够在尾气管内部持续的通入高纯氮气，因为氮气本身的惰性等性能，能够防止空气对尾气管的氧化腐蚀，甚至爆炸风险，此外，加入的氮气软管既经济实惠，而且操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体设备 尾气 装置 | ||
【主权项】：
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