[发明专利]金属掩膜版切割防护设备有效
| 申请号： | 202110255638.X | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113024098B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 钱超;杨柯;牛恩众;余强根 | 申请（专利权）人： | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B23Q11/08 | 分类号： | B23Q11/08 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 薛伯奇 |
| 地址： | 213311 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了金属掩膜版切割防护设备，涉及掩膜版切割防护设备技术领域，具体为金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定套接有驱动盘，所述驱动盘正面的边缘处固定连接有驱动柱，所述驱动柱的外表面活动套接有驱动套杆的一端。该金属掩膜版切割防护设备，通过卡爪的上表面为平整的矩形，所述卡爪上表面向内的一侧开设有固定槽口与第二液压伸缩杆、承载台、升降套管、棘轮之间相互配合能够使得被拨动杆运输过来的掩膜版被承载台运输到卡爪上，能够实现切割掩膜版在防护机箱的内腔中和取拿掩膜版在防护机箱的外侧，可以有效的解决切割掩膜版时会迸溅碎料而存在隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜版 切割 防护 设备 | ||
【主权项】：
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