[发明专利]金属掩膜版切割防护设备

说明书

本发明公开了金属掩膜版切割防护设备，涉及掩膜版切割防护设备技术领域，具体为金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定套接有驱动盘，所述驱动盘正面的边缘处固定连接有驱动柱，所述驱动柱的外表面活动套接有驱动套杆的一端。该金属掩膜版切割防护设备，通过卡爪的上表面为平整的矩形，所述卡爪上表面向内的一侧开设有固定槽口与第二液压伸缩杆、承载台、升降套管、棘轮之间相互配合能够使得被拨动杆运输过来的掩膜版被承载台运输到卡爪上，能够实现切割掩膜版在防护机箱的内腔中和取拿掩膜版在防护机箱的外侧，可以有效的解决切割掩膜版时会迸溅碎料而存在隐患。

技术领域

本发明涉及掩膜版切割防护设备技术领域，具体为金属掩膜版切割防护设备。

背景技术

业内又称光掩模版、掩膜版，英文名称MASK或PHOTOMASK，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，在其切割时会迸溅碎料而存在隐患，而且其切割过程中产生的粉尘会对工作人员的身体健康造成危害，而且掩膜版的材质为石英玻璃衬底，在切割前夹持时容易造成划伤，故而这里提出金属掩膜版切割防护设备来解决上述问题。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了金属掩膜版切割防护设备，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定套接有驱动盘，所述驱动盘正面的边缘处固定连接有驱动柱，所述驱动柱的外表面活动套接有驱动套杆的一端，所述驱动套杆的另一端活动套接有驱动块，所述驱动块的顶部固定连接有动力杆，所述动力杆的右端固定连接有固定块，所述固定块的内腔中活动套接有旋转短柱，所述固定块内腔中活动套接的旋转短柱外表面活动套接有运输块，所述运输块的正上方设置有盛放箱，所述盛放箱的右侧活动连接有防护机箱，所述防护机箱的内腔中开设有固定槽，所述防护机箱内腔中开设的固定槽中固定连接有限位套管，所述限位套管的内腔中固定连接有限位弹簧的一端，所述限位弹簧的另一端固定连接有限位柱，所述限位柱的正下方设置有第一液压伸缩杆，所述第一液压伸缩杆的输出轴上活动套接有驱动臂，所述驱动臂的顶部固定套接有夹持臂，所述驱动臂的内侧活动套接有驱动环，所述驱动环的内腔中活动套接有切割台，所述切割台的右侧固定连接有运输轨道，所述运输轨道的后侧设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴上固定套接有拨动杆，所述拨动杆的左下设置有第二液压伸缩杆，所述第二液压伸缩杆的输出轴上固定连接有承载台，所述承载台的正上方设置有升降套管，所述升降套管的内腔中活动套接有棘轮，所述棘轮的外表面活动套接有卡爪，所述升降套管的内腔中活动套接有限位杆。

可选的，所述驱动套杆的下端开设有驱动槽，所述驱动柱活动套接在驱动套杆下端开设驱动槽中，所述驱动套杆下端开设的驱动槽四边为弧形。

可选的，所述驱动套杆正面的上端开设有圆形柱，所述驱动块的中部开设有与驱动套杆正面上端开设的圆形柱相适配的矩形槽孔。

可选的，所述运输块的形状为L形，所述运输块向内凹陷的一侧朝向左边。

可选的，所述盛放箱的下端开设有与运输块相适配的活动槽，所述盛放箱的右侧下方开设有与掩膜版相适配的输出槽，所述防护机箱的内腔中开设有与盛放箱上开设的输出槽相适配的运输槽。

可选的，所述限位柱的左端活动套接有弧形限位块，所述弧形限位块的右侧为竖直形，所述弧形限位块与限位柱只有向下单方向活动套接。

可选的，所述驱动臂的形状为F形，所述驱动臂内侧的支臂活动套接在驱动环上。

可选的，所述运输轨道的形状为弧形，所述运输轨道的宽度与切割台的宽度相等。