[发明专利]一种光伏电池制造用扩散炉

摘要

本发明涉及光伏电池制造技术领域，且公开了一种光伏电池制造用扩散炉，包括固定箱和气泵，所述固定箱的顶部固定安装有散气箱，所述散气箱上均匀活动安装有扩散炉，所述扩散炉的内部均匀活动卡接有硅片，所述扩散炉中开设有活动槽，所述活动中活动卡接有密封隔板，所述密封隔板与硅片的侧面活动卡接。通过散气箱、扩散炉和密封隔板的设置，使得可以将硅片进行水平放置后，待散气箱的内部气压达到一定时，且在O2的氧化下POCl3彻底分解成可对硅片氧化的P2O5，而后拉开密封隔板，使得氧化气体涌向硅片，对硅片进行全面的扩散氧化，保证硅片氧化的均匀性，同时，使得氧化气体能够以相对稳定的状态与硅片接触，减少波动，提高硅片氧化的质量。