[发明专利]一种光伏电池制造用扩散炉

说明书

本发明涉及光伏电池制造技术领域，且公开了一种光伏电池制造用扩散炉，包括固定箱和气泵，所述固定箱的顶部固定安装有散气箱，所述散气箱上均匀活动安装有扩散炉，所述扩散炉的内部均匀活动卡接有硅片，所述扩散炉中开设有活动槽，所述活动中活动卡接有密封隔板，所述密封隔板与硅片的侧面活动卡接。通过散气箱、扩散炉和密封隔板的设置，使得可以将硅片进行水平放置后，待散气箱的内部气压达到一定时，且在O₂的氧化下POCl₃彻底分解成可对硅片氧化的P₂O₅，而后拉开密封隔板，使得氧化气体涌向硅片，对硅片进行全面的扩散氧化，保证硅片氧化的均匀性，同时，使得氧化气体能够以相对稳定的状态与硅片接触，减少波动，提高硅片氧化的质量。

技术领域

本发明涉及光伏电池制造技术领域，具体为一种光伏电池制造用扩散炉。

背景技术

扩散炉是太阳能电池研制中的工艺之一，主要是由高温炉反应室、温度控制系统及进排气系统组成，其用各种于各种化学气相沉积工艺将氧化剂以扩散方式在高温炉腔内制备高度稳定性的化学性和电绝缘性的二氧化硅等材料，在生产晶体硅太阳电池过程中，采用POCl₃高温分解扩散法在扩散炉中对晶圆片进行加工其原理为：首先，将扩散炉内温度保持在800-1000℃的恒温区，然后向炉内依次通POCl₃和O₂，在高温下，掺杂气体与晶圆片上的Si发生相应的化学反应，生产P原子，P原子向Si原子内扩散，从而晶圆片表面形成P-N结，但，目前使用的扩散炉存在一些不足，如下：

其一，目前，光伏行业普遍采用管式扩散炉对硅片扩散，扩散炉的主体为石英管圆柱体，圆柱体两端的两个圆面分别为设有进气口的管口和排气口的管尾，石英舟为长条形，两端分别靠近石英管的进气口和排气口，在扩散过程中，混合气体从插满硅片的石英舟舟头扩散到舟尾，混合气体的浓度会逐渐降低，扩散速率会变慢，导致石英舟上不同位置硅片的方阻存在差异，质量存在差异。

其二，现有扩散炉对于工艺掺杂气体的通入都是采用大N₂、O₂与小N₂带POCl₃混合后，从排入管送入扩散炉内，O₂需要满足过程反应通入过量的要求，以使POCl₃高温分解彻底，而过量的O₂进入高温状态下的扩散炉内，对扩散炉内的温度恒定造成不稳定影响，而过量O₂中的多余气体不仅会给恒温控制系统增加负载强度，造成O₂浪费，若采用设定量的02通入，则容易会造成O₂不足量，导致不完全分解反应产生PCl₅，造成资源浪费的同时还会造成掺杂扩散不均匀。

发明内容

本发明提供了一种光伏电池制造用扩散炉，具备气流稳定性、扩散效率快的优点，解决了上述背景技术中的问题。

本发明提供如下技术方案：一种光伏电池制造用扩散炉，包括固定箱和气泵，所述固定箱的顶部固定安装有散气箱，所述散气箱上均匀活动安装有扩散炉，所述扩散炉的内部均匀活动卡接有硅片，所述扩散炉中开设有活动槽，所述活动中活动卡接有密封隔板，所述密封隔板与硅片的侧面活动卡接，所述固定箱的内腔中固定安装与中心管，所述中心管的内部活动安装有活动轴，所述活动轴上且位于中心管的内部均匀固定套接有受力叶轮，所述活动轴的底部且位于固定箱的内腔中固定套接有搅拌叶轮，所述散气箱的顶部固定安装有集气箱，所述进气管上且位于集气箱的内部均匀固定安装有进气管，所述中心管的顶端通过气管与气泵连通。

优选的，所述扩散炉包括保温层和固定锁扣，所述固定锁扣与散气箱的上表面固定连接，所述保温层的内侧固定安装有加热板，所述保温层的顶部固定安装有连接板，所述连接板和固定锁扣活动卡接，所述加热板的侧壁固定安装有石英舟，所述石英舟与硅片活动卡接。

优选的，所述散气箱层中心管呈六边形，所述扩散炉有六个。