[发明专利]一种光伏电池制造用扩散炉在审
| 申请号： | 202110244706.2 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113036003A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黄金花 | 申请（专利权）人： | 黄金花 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳运赢知识产权代理事务所(普通合伙) 44771 | 代理人： | 刘雯 |
| 地址： | 610218 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电池 制造 扩散 | ||
1.一种光伏电池制造用扩散炉，包括固定箱(1)和气泵，其特征在于：所述固定箱(1)的顶部固定安装有散气箱(2)，所述散气箱(2)上均匀活动安装有扩散炉(3)，所述扩散炉(3)的内部均匀活动卡接有硅片(4)，所述扩散炉(3)中开设有活动槽，所述活动中活动卡接有密封隔板(5)，所述密封隔板(5)与硅片(4)的侧面活动卡接，所述固定箱(1)的内腔中固定安装与中心管(6)，所述中心管(6)的内部活动安装有活动轴(7)，所述活动轴(7)上且位于中心管(6)的内部均匀固定套接有受力叶轮(8)，所述活动轴(7)的底部且位于固定箱(1)的内腔中固定套接有搅拌叶轮(9)，所述散气箱(2)的顶部固定安装有集气箱(10)，所述进气管(11)上且位于集气箱(10)的内部均匀固定安装有进气管(11)，所述中心管(6)的顶端通过气管与气泵连通。
2.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述扩散炉(3)包括保温层(31)和固定锁扣(34)，所述固定锁扣(34)与散气箱(2)的上表面固定连接，所述保温层(31)的内侧固定安装有加热板(32)，所述保温层(31)的顶部固定安装有连接板(33)，所述连接板(33)和固定锁扣(34)活动卡接，所述加热板(32)的侧壁固定安装有石英舟(35)，所述石英舟(35)与硅片(4)活动卡接。
3.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述散气箱(2)层中心管(6)呈六边形，所述扩散炉(3)有六个。
4.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述固定箱(1)的内腔中灌装有POCl3液体，且液体的液面不超过最底部受力叶轮(8)的位置。
5.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造用扩散炉，其特征在于：所述进气管(11)斜向上且与中心管(6)呈45度夹角。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
