[发明专利]一种去胶机用晶圆传送手臂在审
| 申请号： | 202110237305.4 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN112975910A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 廖海涛 | 申请（专利权）人： | 无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J11/00;B25J15/00 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 卓翠翠 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种去胶机用晶圆传送手臂，具有手臂和手指单元；所述手臂的下方设置有可跟随手臂进行伸缩联动的辅助联动装置；所述手臂包括第一手臂和第二手臂；所述第一手臂通过F关节与晶圆传送手臂的驱动装置连接；与所述晶圆传送手臂驱动装置连接的第一手臂下方设置有支撑平台；所述第一手臂与第二手臂通过S关节连接，S关节的下方设有S平台；所述第二手臂前端设有第三手臂且手指单元安装在第三手臂的两端；所述第三手臂的中间段向外延伸形成平台；所述手臂、辅助联动装置、S平台以及平台形成双四边形伸缩结构。本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种定位精度高、速度快的多自由度机械手。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去胶机用晶圆 传送 手臂 | ||
【主权项】：
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