[发明专利]一种去胶机用晶圆传送手臂

说明书

本发明涉及一种去胶机用晶圆传送手臂，具有手臂和手指单元；所述手臂的下方设置有可跟随手臂进行伸缩联动的辅助联动装置；所述手臂包括第一手臂和第二手臂；所述第一手臂通过F关节与晶圆传送手臂的驱动装置连接；与所述晶圆传送手臂驱动装置连接的第一手臂下方设置有支撑平台；所述第一手臂与第二手臂通过S关节连接，S关节的下方设有S平台；所述第二手臂前端设有第三手臂且手指单元安装在第三手臂的两端；所述第三手臂的中间段向外延伸形成平台；所述手臂、辅助联动装置、S平台以及平台形成双四边形伸缩结构。本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种定位精度高、速度快的多自由度机械手。

技术领域

本发明涉及晶圆搬运装置，尤其是一种去胶机用晶圆传送手臂。

背景技术

在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，效率高的多自由度的去胶机用晶圆传送手臂。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种定位精度高、效率高且多自由度的去胶机用晶圆传送手臂。

实现本发明目的的技术方案是：一种去胶机用晶圆传送手臂，具有手臂和手指单元；所述手臂的下方设置有可跟随手臂进行伸缩联动的辅助联动装置；所述手臂包括第一手臂和第二手臂；所述第一手臂通过F关节与晶圆传送手臂的驱动装置连接；与所述晶圆传送手臂驱动装置连接的第一手臂下方设置有支撑平台；所述第一手臂与第二手臂通过S关节连接，S关节的下方设有S平台；所述第二手臂前端设有第三手臂且手指单元安装在第三手臂的两端；所述第三手臂的中间段向外延伸形成平台；所述手臂、辅助联动装置、S平台以及平台形成双四边形伸缩结构。

更优地，所述S平台内设有两个啮合的齿轮，齿轮的比例为1:1。

更优地，所述辅助联动装置包括第一辅助臂和第二辅助臂；所述支撑平台、第一辅助臂以及第二辅助臂为连杆结构；所述第二辅助臂的末端通过固定杆与平台活动连接。

更优地，所述第一辅助臂和第二辅助臂重叠处形成旋转关节，旋转关节处的第二辅助臂穿过第一辅助臂与S平台内的齿轮连接。

更优地，所述手指单元通过可拆卸组件安装在第三手臂的两端。

更优地，所述可拆卸组件包括固定板和夹块；所述夹块通过螺栓安装在固定板上，所述固定板再通过螺栓锁紧安装在第三手臂的两端。

更优地，所述手指单元通过螺栓锁紧安装在夹块上，所述夹块与夹块之间的水平距离与第三手臂末端手臂宽度相同。

采用上述技术方案后，本发明具有以下积极的效果：本发明辅助联动装置与晶圆传送手臂在水平方向伸缩联动，其在取送晶圆的过程中，操作稳定，定位精度高。另外其前端设置的第三手臂可以安装多个手指单元，双手臂双侧放置多个晶圆，在传送晶圆的过程中提高传送效率，且该手指单元为可拆卸安装方式，方便后期保养、维护和更换。此外晶圆传送手臂的结构简单且成本低，实用性强。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的部分结构示意图；

图3为本发明手指单元的结构示意图；

图4为本发明的驱动装置驱动示意图；

图5为本发明的整体俯视图；

图6为本发明的双四边形描述图；

图7为本发明的晶圆传送手臂零点状态下的四边形状态图