[发明专利]一种半导体PVD设备零部件WELDMENT HOOP的加工工艺在审
| 申请号： | 202110237018.3 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113001116A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李俊男 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 孙奇 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明是一种针对半导体PVD设备零部件WELDMENTHOOP的加工工艺，该零部件为焊接件，功能区域相对于零件基准的平行度、位置度、轮廓度是此零件的核心尺寸，本发明采用制定特殊的加工方案来保证基准面的平面度、基准面与转换基准的平行度以及控制装夹变形来保证加工过程可控，通过前期的过程控制来保证最终尺寸的合格。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 pvd 设备 零部件 weldment hoop 加工 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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