[发明专利]一种改进的草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备清洗工艺有效
| 申请号： | 202110224947.0 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113025333B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 邵勇;徐杨;朱永刚;顾维忠;彭聪;胡生望 | 申请（专利权）人： | 四川江化微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/306 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 620860 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进的草酸铟溶解剂组合物，主要组分为碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水，螯合剂主要组成为螯合剂A和螯合剂B，螯合剂A为选自氨基多羧酸及其盐中的至少一种，螯合剂B为羟基多羧酸及其盐中的至少一种，改进的草酸铟溶解剂组合物的pH值为9.5～10.5。本发明改进的草酸铟溶解剂组合物采用复配螯合剂体系，利用两种螯合剂在草酸铟溶解剂组合物体系下具有协同的螯合性能，增加草酸铟的溶解度并且提高溶解速率。本发明还公开了一种基于草酸铟溶解剂组合物的蚀刻设备清洗工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 草酸 溶解 组合 蚀刻 设备 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
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