[发明专利]蒸镀掩模组件的制作方法在审
| 申请号： | 202110211100.9 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113373405A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 松本优子;西之原拓磨 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于以高效率、高成品率、低成本制作蒸镀掩模组件的制作方法。该蒸镀掩模组件的制作方法包括：在支承基板上形成具有多个第1开口的蒸镀掩模的步骤；形成覆盖多个第1开口的第1抗蚀剂掩模的步骤；将具有第2开口的第2抗蚀剂掩模，以第1抗蚀剂掩模从第2开口露出的方式形成在第1抗蚀剂掩模上的步骤；将具有窗的支承架，以窗与多个第1开口重叠的方式配置在支承基板上的步骤；和使用镀敷法形成将蒸镀掩模和支承架固定在一起的连接部的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩 模组 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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