[发明专利]蒸镀掩模组件的制作方法

说明书

本发明提供用于以高效率、高成品率、低成本制作蒸镀掩模组件的制作方法。该蒸镀掩模组件的制作方法包括：在支承基板上形成具有多个第1开口的蒸镀掩模的步骤；形成覆盖多个第1开口的第1抗蚀剂掩模的步骤；将具有第2开口的第2抗蚀剂掩模，以第1抗蚀剂掩模从第2开口露出的方式形成在第1抗蚀剂掩模上的步骤；将具有窗的支承架，以窗与多个第1开口重叠的方式配置在支承基板上的步骤；和使用镀敷法形成将蒸镀掩模和支承架固定在一起的连接部的步骤。

技术领域

本发明的实施方式之一涉及蒸镀掩模组件的制作方法。

背景技术

作为平板型显示装置的一个例子，可举出液晶显示装置或有机电致发光显示装置。这些显示装置都是包含绝缘体、半导体、导体等各种材料的薄膜被层叠在基板上而成的构造体，这些薄膜通过适当地图案化、连接，能够表现出作为显示装置的功能。

形成薄膜的方法大致分为气相法、液相法、固相法。气相法分为物理气相法和化学气相法，作为前者的代表例，已知一种蒸镀敷法。蒸镀敷法中的最简便的方法是真空蒸镀敷法，通过在高真空下加热材料，使材料升华或蒸发(以下将升华和蒸发统称为气化)而生成材料的蒸气，通过使该蒸气在目的区域(以下称为蒸镀区域)固化、沉积，能够得到材料的薄膜。这时，为了在蒸镀区域有选择地形成薄膜，且在其以外的区域(以下称为非蒸镀区域)不沉积材料，使用物理地将非蒸镀区域遮蔽的掩模(参照专利文献1、2)。该掩模被称为蒸镀掩模等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-87840号公报。

专利文献2：日本特开2013-209710号公报。

发明内容

发明要解决的问题

本发明实施方式的一个目的在于，提供一种蒸镀掩模组件的制作方法。例如，本发明实施方式的一个目的在于，提供一种用于以高效率、高成品率、低成本地制造蒸镀掩模组件的方法。

用于解决问题的技术手段

本发明的实施方式的一个是制作蒸镀掩模组件的方法。该方法包括：在支承基板上形成具有多个第1开口的蒸镀掩模的步骤；形成覆盖多个第1开口的第1抗蚀剂掩模的步骤；将具有第2开口的第2抗蚀剂掩模，以第1抗蚀剂掩模从第2开口露出的方式形成在第1抗蚀剂掩模上的步骤；将具有窗的支承架，以窗与多个第1开口重叠的方式配置在支承基板上的步骤；和使用镀敷法形成将蒸镀掩模和支承架固定在一起的连接部的步骤。

本发明的实施方式的一个是制作蒸镀掩模组件的方法。该方法包括：在支承基板上形成具有多个第1开口的蒸镀掩模的步骤；在蒸镀掩模上形成抗蚀剂掩模的步骤；将抗蚀剂掩模加工成具有与多个第1开口重叠的薄膜区域和包围薄膜区域的厚膜区域的步骤；将具有窗的支承架，以窗与薄膜区域和厚膜区域重叠的方式配置在支承基板上的步骤；和使用镀敷法形成将蒸镀掩模和支承架固定在一起的连接部的步骤。

本发明的实施方式的一个是制作蒸镀掩模组件的方法。该方法包括：在支承基板上形成分别具有多个第1开口的多个蒸镀掩模的步骤；以覆盖各自对应的蒸镀掩模的多个第1开口的方式，形成与多个蒸镀掩模分别对应的多个第1抗蚀剂掩模的步骤；将与多个第1抗蚀剂掩模分别对应且各自具有第2开口的多个第2抗蚀剂掩模，以对应的第1抗蚀剂掩模从第2开口露出的方式，形成在分别对应的第1抗蚀剂掩模上的步骤；将具有与多个第1抗蚀剂掩模和多个第2抗蚀剂掩模对应的多个窗的支承架，以窗分别对应的第1抗蚀剂掩模与第2抗蚀剂掩模重叠的方式配置在支承基板上的步骤；和使用镀敷法形成将多个蒸镀掩模和支承架固定在一起的连接部的步骤。

根据本发明，能够以高效率、高成品率、低成本地制造蒸镀掩模组件。

附图说明

图1A是用本发明的实施方式的一个方法制作的蒸镀掩模组件能够应用的蒸镀装置的示意俯视图。