[发明专利]具有减小的振动校正误差的MEMS测斜仪有效
| 申请号： | 202110208300.9 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113375635B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | G·加特瑞;F·里奇尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;G01C9/02;G01C25/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种具有减小的振动校正误差的MEMS测斜仪。该MEMS测斜仪包括基底、第一移动质量块和传感单元。传感单元包括第二移动质量块、多个弹性元件，弹性元件被插入在第二移动质量块与基底之间并且在与第一轴线平行的方向是柔顺的，以及多个弹性结构，多个弹性结构中的每个弹性结构被插入在第一移动质量块与第二移动质量块之间并且在与第一轴线和第二轴线平行的方向是柔顺的。传感单元进一步包括相对于基底固定的固定电极以及相对于第二移动质量块固定的移动电极，这形成了可变电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 减小 振动 校正 误差 mems 测斜仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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