[发明专利]一种二氧化碳传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110206629.1 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN112903755B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 韩丹;刘琭琭;桑胜波;禚凯;冀健龙;张文栋 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;H01L29/872;H01L21/329 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 冷锦超;邓东东 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明一种二氧化碳传感器及其制备方法，属于二氧化碳传感器技术领域，所要解决的技术问题为：提供一种二氧化碳传感器硬件结构及其制备方法的改进；解决该技术问题采用的技术方案为：在硅衬底上生成高晶体质量的氮化镓/铝氮化镓外延片，外延片一端刻蚀后利用电极制备工艺沉积铝电极，另一端直接光刻成铂电极，然后在两电极之间涂敷PEI和淀粉的混合物，由此获得一种检测范围广、可重复使用、稳定性好、材料利用率高的二氧化碳传感器；本发明制备的二氧化碳传感器具有检测范围广、价格便宜、易检测、可重复使用等有益效果；本发明安装应用于二氧化碳检测电路中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化碳 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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