[发明专利]一种制备化学气相沉积态铼EBSD样品的方法在审
| 申请号： | 202110175782.2 | 申请日： | 2021-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN112985956A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 魏燕;胡昌义;刘盼;王献;蔡宏中;黎玉盛;赵军;张贵学;汪兴强;陈力;王一晴;袁晓虹;毛端;陈国华;张诩翔;王现广 | 申请（专利权）人： | 贵研铂业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市市辖区高*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备化学气相沉积态铼EBSD样品的方法，从化学气相沉积铼样品上用电火花线切割的方法切得一块长方体，运用导电镶嵌料进行热镶嵌，将镶嵌好的样品用砂纸由粗磨到细磨光，将细磨后的样品用水溶性金刚石抛光膏抛光，抛光膏的稀释液用无水乙醇；再将机械抛光后的样品进行电解腐蚀；最后用清水将样品表面充分洗净，再用洗耳球将其吹干。本发明的有益效果是：采用本发明的机械抛光加腐蚀的方法制备EBSD样品，操作简单、方便、设备费用低廉；电解腐蚀所用的草酸酸性较弱，安全性系数较高；制备的EBSD样品能够很好的去除样品表面机械应力，不给表面带来污染及组织改变，获得高质量的EBSD测试样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 化学 沉积 ebsd 样品 方法 | ||
【主权项】：
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