[发明专利]一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计及其抑制方法在审
| 申请号： | 202110116751.X | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN113030514A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 郭芃;邬俊杰;冯立辉;张佳羽;崔建民;卢继华 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计及其抑制方法，属于MEMS传感器防护技术领域。所述可抑制声波干扰的MEMS加速度计，包括传感器、交流放大器、解调器、1号低通滤波器、输出放大器及2号低通滤波器。所述抑制方法，包括：传感器输出的电压信号通过一个交流放大器放大，得到交流放大后的信号；交流放大号的信号再通过解调器进行解调，得到解调后的信号；解调后的信号通过一个低通滤波器滤波，滤除信号中的高频声波干扰信号，得到第一次低通滤波后的信号；第一次低通滤波后的信号再通过一个输出放大器放大，得到输出放大后的信号；输出放大后的信号再通过一个低通滤波器滤波，就能得到不含声波干扰信号的正确加速度信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可抑制 声波 干扰 mems 加速度计 及其 抑制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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