[发明专利]一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计及其抑制方法

权利要求书

1.一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计，其特征在于：包括传感器、交流放大器、解调器、1号低通滤波器、输出放大器及2号低通滤波器；

所述可抑制声波干扰的MEMS加速度计中各模块的连接关系如下：

传感器与交流放大器相连，交流放大器及解调器相连，解调器与1号低通滤波器相连，1号低通滤波器与输出放大器连接，输出放大器与2号低通滤波器相连；

传感器将电压信号输出给交流放大器，交流放大器将输入的电压信号中的交流分量进行放大，解调器的功能是将交流放大器传输来的信号进行解调输出解调后电压信号；1号低通滤波器用于滤除解调后电压信号中的高频声波干扰信号，得到低通滤波后的去高频声波干扰信号；输出放大器用于放大去高频声波干扰信号的幅值，得到幅值放大信号；2号低通滤波器用于滤除幅值放大信号中的剩余交流分量，得到最终输出的加速度值。

2.根据权利要求1所述的一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计，其特征在于：交流放大器、解调器、1号低通滤波器、输出放大器及2号低通滤波器组成了信号处理电路，只适用于处理传感器输出的电压信号。

3.一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计的抑制方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1：传感器输出的电压信号通过一个交流放大器放大，得到交流放大后的信号；

步骤2：交流放大号的信号再通过解调器进行解调，得到解调后的信号；

步骤3：解调后的信号通过1号低通滤波器进行低通滤波，滤除信号中的高频声波干扰信号，得到第一次低通滤波后的信号；

步骤4：第一次低通滤波后的信号再通过输出放大器放大，得到输出放大后的信号；

步骤5：输出放大后的信号再通过2号低通滤波器滤波，就能得到不含声波干扰信号的正确加速度信号。