[发明专利]一种掩膜板的制作方法、掩膜板及显示装置有效
| 申请号： | 202110100848.1 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112921366B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 关新兴;白珊珊;毕娜;刘佳宁;吴淞全 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C25D1/20;C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板的制作方法、掩膜板及显示装置，所述方法包括：在导电基板的一侧表面形成多个相互独立的凹槽；在导电基板形成凹槽的一侧形成一整层石墨烯涂层；在各凹槽内的石墨烯涂层上形成图案化的绝缘结构，绝缘结构在导电基板上的正投影小于凹槽在导电基板上的正投影；将导电基板置于电镀液中通电后进行电铸工艺，在石墨烯涂层未被绝缘结构遮挡的表面形成包括主体部和支撑部的掩膜板本体，主体部覆盖凹槽之外的区域，支撑部由主体部延伸至凹槽的底部且围绕凹槽的边缘设置；去除绝缘结构，在掩模板本体去除绝缘结构的位置形成通孔结构；通过在分散剂中超声分散石墨烯涂层，将掩膜板本体从导电基板上剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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