[发明专利]一种半导体制程废气处理器

摘要

本发明公开了一种半导体制程废气处理器，其结构包括控制阀、底座、出口、导管、处理装置、入口、观察窗、机体、净化腔，本发明进行使用时，叶片受到废气的冲击气压后会变成圆锥柱体结构，废气会由于惯性在叶片的作用下会向下流动，通过内导气口和外导气口配合有效将气体均匀的向外分散到分流管，有效防止导流出的气体向上回流，精滤网受到气体的气压力会产生一定的抖动，通过辅助板与支撑板互相配合对精滤网进行支撑，使得精滤网可以稳定的上下波动，有效对卡持在精滤网孔隙的颗粒物会受到上下波动的作用而向上弹起，防止颗粒物堵塞在精滤网上，阻止废气的流通性，提高废气的处理效率。