[发明专利]一种半导体制程废气处理器

说明书

本发明公开了一种半导体制程废气处理器，其结构包括控制阀、底座、出口、导管、处理装置、入口、观察窗、机体、净化腔，本发明进行使用时，叶片受到废气的冲击气压后会变成圆锥柱体结构，废气会由于惯性在叶片的作用下会向下流动，通过内导气口和外导气口配合有效将气体均匀的向外分散到分流管，有效防止导流出的气体向上回流，精滤网受到气体的气压力会产生一定的抖动，通过辅助板与支撑板互相配合对精滤网进行支撑，使得精滤网可以稳定的上下波动，有效对卡持在精滤网孔隙的颗粒物会受到上下波动的作用而向上弹起，防止颗粒物堵塞在精滤网上，阻止废气的流通性，提高废气的处理效率。

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体涉及到一种半导体制程废气处理器。

背景技术

随着社会的进步，工业化的进程也飞速发展，工业生产不断发展会对大气中排放大量的工业残余气体，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在制配过程中会产生酸碱气体以及其他有机废气，需要对废气中的颗粒物进行有效处理，在对废气进行处理时，需要改进的地方：

在对半导体制造产生的废气进行处理时，半导体在制造工艺中会产生大量的特殊气体，在处理气体的过程中，制程废气中携带有许多不同粒径尺寸的固体颗粒物，由于滤网的孔径大小一致，若是颗粒物的粒径过大，会卡持在滤网的孔径上，使得废气无法正常在滤网上流动过滤，影响废气的流通过滤性，且废气在处理过程中会随着气体的波动向上流动，导致处理后的气体出现回流，使得处理后与未处理的废气相混合在一起，降低废气的处理效率。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种半导体制程废气处理器，其结构包括控制阀、底座、出口、导管、处理装置、入口、观察窗、机体、净化腔，所述控制阀与导管相接通，所述导管远离控制阀的一端贯穿伸入处理装置内部，所述处理装置安装在机体内部，所述机体一侧设有两个与之相接通的观察窗，另一侧与出口相通，所述机体朝向处理装置的一端与入口相接通，所述机体底部与净化腔相接通，所述净化腔通过机体与出口相通，所述净化腔固定连接在底座上。

作为发明内容的进一步优化，所述处理装置包括有隔滤组件、防回流装置、导流弧板、腔体、输出口，所述隔滤组件一端与输出口相接通，另一端设有防回流装置，所述防回流装置远离隔滤组件的一端与导流弧板相接通，所述导流弧板设有两块，两块导流弧板扣接在腔体内壁两侧，所述腔体底部设有输出口，所述腔体安装在机体内部。

作为发明内容的进一步优化，所述防回流装置包括有波浪弹件、汇集板、旋转盘、输气口、导气叠件、分流管，所述波浪弹件设有两个，两个波浪弹件之间设有与之相接的导气叠件，所述导气叠件设有三块，三块导气叠件平行扣合在两个波浪弹件之间，所述波浪弹件一端与汇集板相扣接，另一端与分流管侧壁相连，所述汇集板设有两块，两块汇集板对称连接在输气口两侧，所述输气口上设有旋转盘，所述分流管远离波浪弹件的一端设有隔滤组件，所述汇集板与导流弧板相接通。

作为发明内容的进一步优化，所述导气叠件包括有盘体、分散导件、连接块、衔接块、叶片，所述盘体内壁设有与之相接的衔接块，所述衔接块远离盘体的一端与叶片相连，所述叶片设有多块，多块叶片等距环形插嵌在连接块上，所述连接块内部安装有分散导件，所述盘体与波浪弹件相连接。

作为发明内容的进一步优化，所述分散导件包括有隔块、内导气口、外导气口、凸弧分板，所述隔块一端贴合在外导气口外壁，另一端与连接块相接，所述外导气口与内导气口相接通，所述内导气口远离外导气口的一端与凸弧分板相接。

作为发明内容的进一步优化，所述隔滤组件包括有活动扣件、细滤元件、粗滤网、壳体、活性炭层，所述活动扣件设有两块，两块活动扣件平行卡接在壳体内壁两侧，所述活动扣件远离壳体的一端与细滤元件相接，所述细滤元件一端上设有粗滤网，另一端设有活性炭层，所述粗滤网和活性炭层的两端平行扣接在壳体内壁两侧，所述壳体底部与输出口相接通，所述粗滤网上设有分流管。