[发明专利]光伏电池双向进气钝化沉积装置

摘要

本发明公开了一种光伏电池双向进气钝化沉积装置，具有一个主机室，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的一端为炉口端，另一端为封闭的炉尾端，在工艺腔室靠近炉口端的位置上设有第一进气口，在工艺腔室靠近炉口端的位置上设有第一出气口，在工艺腔室靠近炉尾端的位置上设有第二进气口，在工艺腔室靠近炉尾端的位置或者炉尾上设有第二出气口。本发明采用了双向交替的进气方式生长氧化铝膜，可以把氧化铝膜的均匀性大幅提高，在金字塔绒面结构下氧化铝膜的均匀性同样可以控制在3%以内，可以把氧化铝膜更强的场钝化效果发挥出来，降低俄歇复合、SRH复合和表面复合，大大提高了钝化效果。