[发明专利]一种三维存储器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110067317.7 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112786613B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 张强威;许宗珂;袁彬 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H10B43/35 | 分类号： | H10B43/35;H10B43/27 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 高园园 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种三维存储器，包括堆叠结构、第一栅线切口、第二栅线切口、第一虚设结构、接触结构及第二虚设结构，其中，堆叠结构在水平方向上划分为核心区域与台阶区域；第一栅线切口与第二栅线切口平行排列并往第一水平方向延伸，第一虚设结构、接触结构及第二虚设结构位于台阶区域并在第二水平方向上依次排列。本发明中，虚设结构采用长条沟槽型设计，虚设结构之间的空间较小，可以保证虚设结构稳固的支撑功能。虚设结构与接触结构上下错开，以及虚设结构面对接触结构的区域采用缩进渐变设计，可以同时增加接触结构与虚设结构在两个方向上的对准偏移窗口。直线排列的虚设结构避免了之字形排列对栅线切口的影响，有利于降低栅线切口的工艺难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 存储器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110067317.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
