[发明专利]三维半导体存储器件在审
| 申请号： | 202110056980.7 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN113497185A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 金相局;姜润昇;权五益;金娟智;全秀珍 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 李娜;赵莎 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种三维(3D)半导体存储器件，包括：第一单元堆叠，沿第一方向和第二方向布置；第二单元堆叠，设置在所述第一单元堆叠上并且沿所述第一方向和所述第二方向布置；第一导电线，沿所述第一方向延伸并且被设置在衬底与所述第一单元堆叠之间；公共导电线，沿所述第二方向延伸并且被设置在所述第一单元堆叠与所述第二单元堆叠之间；蚀刻停止图案，沿所述第二方向延伸并且被设置在所述第一单元堆叠的顶表面与所述公共导电线之间；第二导电线，沿所述第一方向延伸并且被设置在所述第二单元堆叠上；以及覆盖图案，覆盖所述公共导电线的侧壁和所述蚀刻停止图案的侧壁，其中，每条所述公共导电线的第二厚度大于每条所述第一导电线的第一厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 半导体 存储 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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