[发明专利]一种金属和氮化硅陶瓷高温共烧复合基板的方法在审
申请号: | 202110048262.5 | 申请日: | 2021-01-14 |
公开(公告)号: | CN112552055A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 于利学;邹文革;李平齐;王美玲 | 申请(专利权)人: | 威海圆环先进陶瓷股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/638;C04B41/88 |
代理公司: | 成都熠邦鼎立专利代理有限公司 51263 | 代理人: | 左永飞 |
地址: | 264200 山东省威海*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种金属和氮化硅陶瓷高温共烧复合基板的方法,包括多层陶瓷、氮化硅陶瓷生坯膜和钨钼浆料,工艺包括高温烧结工艺、多层陶瓷生产工艺、丝网印刷工艺、叠压工艺、切片工艺和生产工艺,器件包括:排胶炉和气氛气压烧结炉,氮化硅陶瓷生坯膜生产工艺包括:氮化硅陶瓷粉、助烧剂氧化钇、粘结剂、流平剂和增塑剂,重量比为氧化钇占总重量的4%~7%、粘结剂占总重量的4%~8%、增塑剂和流平剂占总重量的5%~8%,其余为氮化硅陶瓷粉体,将上述材料混合成生胚膜放入氮气气氛中排胶,制得氮化硅陶瓷生坯膜;本发明一种金属和氮化硅陶瓷高温共烧复合基板的方法具有高温共烧出高热导的金属和氮化硅陶瓷、抗弯强度好的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 氮化 陶瓷 高温 复合 方法 | ||
【主权项】:
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