[发明专利]一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置有效
| 申请号： | 202110045186.2 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112941467B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 阙建波 | 申请（专利权）人： | 陕西轩意光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;G02B1/10 |
| 代理公司： | 杭州君和专利代理事务所(特殊普通合伙) 33442 | 代理人： | 包雪雷 |
| 地址： | 725000 陕西省安康市高新技术产业开*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置，包括壳体，所述壳体的上端开设有隔热槽，所述隔热槽内放置有蒸发皿，所述蒸发皿的上端开设有蒸发槽，所述壳体的上端设有压缩槽，所述压缩槽位于隔热槽的左侧，所述壳体的上端设有盖板，所述壳体内设有横腔，所述横腔位于隔热槽的下端，所述壳体的左侧设有储液箱，所述储液箱内设有储液腔，所述储液腔内填充有冷却液，所述壳体的右侧安装有电源。该装置能够对蒸发皿源进行主动降温，大大缩短了蒸发皿的降温时间，从而增加了蒸发源的工作效率，同时增加了盖板的密封性，避免在冷却的过程造成气化的蒸镀材料泄露，造成蒸镀材料浪费的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学镜片 真空 蒸镀设 备用 蒸发 降温 装置 | ||
【主权项】：
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