[发明专利]一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置有效
申请号: | 202110045186.2 | 申请日: | 2021-01-13 |
公开(公告)号: | CN112941467B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 阙建波 | 申请(专利权)人: | 陕西轩意光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;G02B1/10 |
代理公司: | 杭州君和专利代理事务所(特殊普通合伙) 33442 | 代理人: | 包雪雷 |
地址: | 725000 陕西省安康市高新技术产业开*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学镜片 真空 蒸镀设 备用 蒸发 降温 装置 | ||
本发明公开了一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,包括壳体,所述壳体的上端开设有隔热槽,所述隔热槽内放置有蒸发皿,所述蒸发皿的上端开设有蒸发槽,所述壳体的上端设有压缩槽,所述压缩槽位于隔热槽的左侧,所述壳体的上端设有盖板,所述壳体内设有横腔,所述横腔位于隔热槽的下端,所述壳体的左侧设有储液箱,所述储液箱内设有储液腔,所述储液腔内填充有冷却液,所述壳体的右侧安装有电源。该装置能够对蒸发皿源进行主动降温,大大缩短了蒸发皿的降温时间,从而增加了蒸发源的工作效率,同时增加了盖板的密封性,避免在冷却的过程造成气化的蒸镀材料泄露,造成蒸镀材料浪费的情况发生。
技术领域
本发明涉及光学镜片技术领域,尤其涉及一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置。
背景技术
在光学镜片的制造过程中,通常会将光学镜片和蒸发源放在同一个正空腔室内,通过对蒸发源进行加热,使得放置在蒸发源中的蒸镀材料蒸发,从而附着在光学镜片上,使得光学镜片上生成一个膜层,然而现有的蒸发源在使用过程中仍然存在以下问题:
现有的蒸发源在使用过程中,在蒸镀结束、需要进行蒸镀材料的补充或者对设备进行检修等情况下,通常会将盖板盖在蒸发源的上方,然后等到蒸发源冷却至一定温度后在进行操作,由于目前对于蒸发源冷却仅仅通过将蒸发源放置在自然环境下,通过蒸发源自行散热的方式进行冷却,这种方式使得蒸发源降温需要几个小时甚至更久,大大影响了工作效率,因此,如何合理的解决这个问题是我们所需要考虑的。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置,该装置能够对蒸发皿源进行主动降温,大大缩短了蒸发皿的降温时间,从而增加了蒸发源的工作效率,同时增加了盖板的密封性,避免在冷却的过程造成气化的蒸镀材料泄露,造成蒸镀材料浪费的情况发生。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:包括壳体,所述壳体的上端开设有隔热槽,所述隔热槽内放置有蒸发皿,所述蒸发皿的上端开设有蒸发槽,所述壳体的上端设有压缩槽,所述压缩槽位于隔热槽的左侧,所述壳体的上端设有盖板,所述壳体内设有横腔,所述横腔位于隔热槽的下端,所述壳体的左侧设有储液箱,所述储液箱内设有储液腔,所述储液腔内填充有冷却液,所述壳体的右侧安装有电源,所述储液腔的内底部安装有制冷片;所述压缩槽内设有触发机构,所述触发机构包括设置在压缩槽内的移动块,所述移动块具有导电性,所述移动块与压缩槽的内壁滑动连接,所述移动块的下端与压缩槽的内底部通过复位弹簧弹性连接,所述压缩槽的两侧内壁设有与移动块相配合的导电片,所述移动块的上端固定连接有抵杆;所述横腔内设有往复机构,所述往复机构用于将储液箱内的冷却液抽入蛇形管内;所述蒸发槽内设有搅拌机构,所述搅拌机构用于增加蒸镀材料的流动性。
优选地,所述往复机构包括设置在横腔内的滑动块,所述滑动块与横腔的内壁滑动连接,所述横腔的右侧内壁固定连接有电磁铁,所述滑动块的左侧与电磁铁的右侧通过折叠弹簧弹性连接,所述滑动块具有导电性,所述横腔的内底部和内顶部均设有与滑动块相配合的导电片。
优选地,所述隔热槽的内壁上设有蛇形管,所述蛇形管的进液端与横腔位于滑动块的左侧空间连通,所述横腔位于滑动块的左侧空间与储液腔的底部空间通过进液管连通,所述蛇形管的出液端与储液腔的顶部空间连通,所述进液管和蛇形管的进液端均设有单向阀。
优选地,所述横腔位于滑动块的右侧空间与外界通过进气管连通,所述横腔位于滑动块的右侧空间与隔热槽的底部空间通过出气管连通,所述进气管和出气管上均设有单向阀,所述隔热槽的顶部空间与外界通过排气管连通。
优选地,所述搅拌机构包括竖直设置在横腔内的转杆,所述转杆的两端与横腔的内底部和内顶部转动连接,所述滑动块的左侧固定连接有齿条,所述转杆上固定连接有与齿条向配合的齿轮,所述转杆的上端延伸至蒸发槽内并沿其周向安装有多个搅拌杆。
优选地,所述盖板内设有空腔,所述空腔内设有低沸点溶液,所述盖板的外壁固定连接有膨胀气囊,所述膨胀气囊与空腔之间通过多个短管连通。
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