[发明专利]一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置

权利要求书

1.一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的上端开设有隔热槽（3），所述隔热槽（3）内放置有蒸发皿（4），所述蒸发皿（4）的上端开设有蒸发槽（5），所述壳体（1）的上端设有压缩槽（28），所述压缩槽（28）位于隔热槽（3）的左侧，所述壳体（1）的上端设有盖板（25），所述壳体（1）内设有横腔（7），所述横腔（7）位于隔热槽（3）的下端，所述壳体（1）的左侧设有储液箱（8），所述储液箱（8）内设有储液腔，所述储液腔内填充有冷却液，所述壳体（1）的右侧安装有电源（2），所述储液腔的内底部安装有制冷片（9）；

所述压缩槽（28）内设有触发机构，所述触发机构包括设置在压缩槽（28）内的移动块（18），所述移动块（18）具有导电性，所述移动块（18）与压缩槽（28）的内壁滑动连接，所述移动块（18）的下端与压缩槽（28）的内底部通过复位弹簧（19）弹性连接，所述压缩槽（28）的两侧内壁设有与移动块（18）相配合的导电片（12），所述移动块（18）的上端固定连接有抵杆（17）；

所述横腔（7）内设有往复机构，所述往复机构用于将储液箱（8）内的冷却液抽入蛇形管（6）内；

所述蒸发槽（5）内设有搅拌机构，所述搅拌机构用于增加蒸镀材料的流动性；

所述往复机构包括设置在横腔（7）内的滑动块（11），所述滑动块（11）与横腔（7）的内壁滑动连接，所述横腔（7）的右侧内壁固定连接有电磁铁（10），所述滑动块（11）的左侧与电磁铁（10）的右侧通过折叠弹簧（21）弹性连接，所述滑动块（11）具有导电性，所述横腔（7）的内底部和内顶部均设有与滑动块（11）相配合的导电片（12）；

所述横腔（7）位于滑动块（11）的右侧空间与外界通过进气管（22）连通，所述横腔（7）位于滑动块（11）的右侧空间与隔热槽（3）的底部空间通过出气管（23）连通，所述进气管（22）和出气管（23）上均设有单向阀，所述隔热槽（3）的顶部空间与外界通过排气管（26）连通。

2.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置，其特征在于：所述隔热槽（3）的内壁上设有蛇形管（6），所述蛇形管（6）的进液端与横腔（7）位于滑动块（11）的左侧空间连通，所述横腔（7）位于滑动块（11）的左侧空间与储液腔的底部空间通过进液管（24）连通，所述蛇形管（6）的出液端与储液腔的顶部空间连通，所述进液管（24）和蛇形管（6）的进液端均设有单向阀。

3.根据权利要求1所述的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置，其特征在于：所述搅拌机构包括竖直设置在横腔（7）内的转杆（14），所述转杆（14）的两端与横腔（7）的内底部和内顶部转动连接，所述滑动块（11）的左侧固定连接有齿条（13），所述转杆（14）上固定连接有与齿条（13）向配合的齿轮（15），所述转杆（14）的上端延伸至蒸发槽（5）内并沿其周向安装有多个搅拌杆（16）。

4.根据权利要求2所述的一种光学镜片真空蒸镀设备用蒸发源降温装置，其特征在于：所述盖板（25）内设有空腔（27），所述空腔（27）内设有低沸点溶液，所述盖板（25）的外壁固定连接有膨胀气囊（29），所述膨胀气囊（29）与空腔（27）之间通过多个短管连通。