[发明专利]用于等离子体系统的纳秒脉冲发生器RF隔离在审
| 申请号： | 202080089882.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114930488A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 迪麦西·津巴;肯尼斯·米勒 | 申请（专利权）人： | 鹰港科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34;H01L21/44;H05H1/42;H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389 | 代理人： | 黄庆 |
| 地址： | 美国华盛顿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例包括一种等离子体系统。所述等离子体系统包括：等离子体腔室；RF驱动器，其配置为用RF频率将突发驱动到所述等离子体腔室中；纳秒脉冲发生器，其配置为用脉冲重复频率将脉冲驱动到所述等离子体腔室中，所述脉冲重复频率小于所述RF频率；高通滤波器，其部署在所述RF驱动器与所述等离子体腔室之间；和低通滤波器，其部署在所述纳秒脉冲发生器与所述等离子体腔室之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 系统 脉冲 发生器 rf 隔离 | ||
【主权项】：
暂无信息
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