[发明专利]在线检测半导体级化学品中有机分子杂质的自动化系统在审
| 申请号： | 202080088394.4 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114846577A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | A·朗;B·杜费克;D·R·维德林 | 申请（专利权）人： | 基础科学公司 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 美国内布*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 分析系统的实施例可包括初始多端口阀、至少一个中间多端口阀、另外的多端口阀、以及飞行时间质谱仪(TOF‑MS)。初始多端口阀可被配置为接收样品。至少一个中间多端口阀可与初始多端口阀流体连接，并被配置为从初始多端口阀接收样品。给定的中间多端口阀可具有与其相关联的离子交换柱。给定的中间多端口阀可被选择性地配置为以下之一，即引导样品通过与其相关联的离子交换柱(以物种形成模式)或绕过所述离子交换柱(以注入模式)。另外的多端口阀可与至少一个中间多端口阀流体连接并被配置为从其接收样品。飞行时间质谱仪(TOF‑MS)可与所述另外的多端口阀流体连接。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 检测 半导体 化学品 有机 分子 杂质 自动化 系统 | ||
【主权项】：
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